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案例分析|泰治科技PAT系统,助力CP测试实现不同温度下性能一致性监控

2024-12-27

在半导体芯片制造过程中,CP测试作为关键的质量控制环节,对于确保芯片性能的稳定性和可靠性至关重要。其中,性能一致性监控是评估芯片性能在不同环境条件下稳定性的重要指标之一。为了监控不同温度下性能一致性,一般通过编写软件程序进行统计,但会受到CP数据量、统计方法、客制化要求不一样的制约影响,使得当前的实现方案不尽如人意。

问题痛点
01数据治理难:不同温度下性能一致性监控通常需要用到多道CP 的数据,如常温CP和高温CP,且需要获取到Die 级别的测试项数据,这部分的数据量较大,对解析程序的稳定性、时效性都是很大的考验;此外,如何使用的方法对齐常温CP 和 高温CP 数据,也是数据治理的难点。


02统计方法难在获取到常温CP 和 高温CP 的数据后,在什么条件下才认为是具备“性能一致性”也是有争议的一点,如一个Die 测同一个测试项在常温、高温后差别应该不超过某个具体值,这样的方式并不科学,会由于不同测试机台的差异导致监控出现偏差。


03融入生产流程难:在具备了性能一致性监控能力后,如何产出Inkless Map、如何将该能力融入生产流程,很显然这部分能力并不完全属于MES、CIM或SPC等系统里。


解决方案

泰治科技自主研发的PAT 系统提供“DPAT-T”功能,为CP 测试提供不同条件下性能一致性监控的设定、计算、Ink以及上下游对接功能,一站式为客户解决监控、Ink、业务流程整合。当MES 有目标批次通过特定CP 站别时,通知泰治PAT 系统,由PAT 系统根据设定的规则进行计算,通过固定阈值或动态阈值的方式对不同站点的测试值进行计算与标记,并将Ink 后的数据回传给下游系统以形成Inkless Map。



案例分析
某测试厂上游客户要求对ICC 测试项在CP1CP2 的值进行差异值卡控,以确保性能的一致性。CP测试过程中,泰治科技YMS 系统采集测试结果文件,以秒级解析效率将其存入数据库中,泰治科技YMS在头部封测厂稳定运行3年以上,具备较强的稳定性、时效性,不对测试机运行产生影响。在泰治科技PAT系统里,用户可以灵活的配置监控产品、动态或静态监控规则、阈值等,以实现高效操作、标准化配置并且保持一定的可扩展性。


PAT设定页面

MES 有目标批次通过特定CP 站别时,将批次信息传递给泰治PAT 系统,PAT 系统会校验当前测试数据是否完整,再根据设定的规则进行计算,由于设定的是动态阈值,系统通过统计算法滑窗计算ICC 测试项常高温差,动态更新卡控上下限,再将每个Die 的测试项差值与新上下限比较,判断是否需要InkPAT 系统计算完成后,将计算后的结果数据、过程数据存入数据库,生成报告监控报告,并将Ink 结果返回给下游系统以产出Inkless Map,至此完成了CP测试不同温度下性能一致性监控与Ink 功能闭环。


PAT后结果查看


方案价值

泰治科技PAT系统通过将监控计算与端到端能力进行整合,助力CP测试实现不同温度下性能一致性监控功能并与业务流程闭环,快速解决用户需求,效率提升60%以上,出错率接近0,获得客户一致好评。

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