在晶圆制造过程中，CDA（Compressed Dry Air，空压系统）作为重要的动力源，其能耗问题一直是厂务部门的关注重点。过高的能耗不仅增加企业的运营成本，还与当下节能环保的理念背道而驰。如何有效进行CDA能耗分析与优化，成为众多晶圆厂亟待解决的难题。 
问题难点
1、数据来源多

需要分析CDA的能耗情况，必须综合自控系统、离线计量仪器以及手工填报等数据进行分析，这些数据口径不一、未经梳理，很难整合应用。
2、分析建模难

能耗异常的原因有很多，有偶然原因的异常（如某台设备故障导致的能耗异常），也有长期消耗量较大的原因（如工艺设定不当导致的能耗异常），很难有一套分析方案可以覆盖全部异常场景。
3、优化方案难

即使能分析到影响能耗的异常因素，也很难确定优化方案，如关键参数到底需要调整到多少才能达到能耗最优的结果。
解决方案

泰治科技自主研发的DAS系统是一款通用型数据分析产品，以先进的统计学和数据分析算法为基础，为制造、化工、教育、金融等行业，提供精益质量管理、工艺改进、新品研发、故障检测、持续改善等方面的数据分析和管理建议，帮助企业科学的提升良率、降低成本、改善管理。

用户通过拖拽式的简单操作就能够构建起专业的数据分析模型和数学模型，帮助客户在统计学知识不足的情况下，也能轻松进行可视化、探索分析、数据挖掘等。快速从人机料法环的海量数据中找到影响生产经营的关键因素，并制定和实施针对性最强的改善方案。

泰治科技DAS 系统

泰治科技DAS 系统泰治科技DAS系统集各种国际同类产品的优势于一身，不仅仅是国产化的JMP，也相当于“可拖拽的Excel，带统计分析的FineBI，体验更好的Minitab，更易用的Matlab”。

案例分析

某晶圆厂需要优化CDA能耗，即确保在既定时间内产出规定产量的压缩气体时，并且尽可能降低使用的能耗。

趋势分析、分布分析，锁定偶然原因的能耗异常

厂务工程师通过泰治科技DAS系统，整合自控系统、计量仪器、手工台账等能耗相关数据，建立“产量-能耗”分析模型。

通过分布分析、趋势分析，锁定偶然原因导致的能耗异常，发现工作日和周末能耗模式差异大，工作日能耗波动大且整体水平高；通过散点图矩阵、假设检验等功能，探索设备参数与能耗之间的关系，发现压力升高时能耗非线性增长，且设备连续运行时间与能耗正相关性极高，设备连续运行时间是影响能耗的关键因素。

探索多种因素与能耗之间的关系

进行初步的探索分析后，厂务工程师使用DAS 系统内的建模功能，一键建立产耗比与设备工作时间的模型，系统内置多种机器学习算法进行建模，筛选最优模型，并提供优化的建议。

机器学习算法建模，筛选最优模型

随后，工程师根据系统提供的建议进行现场验证，确认效果后制定优化方案，如根据任务情况调整空压机开启数量和连续运行时间，用气量需求低时减少空压机台数，采用变频技术等方案在确保产能的前提下降低能耗。

实施策略后监测一个月，CDA能耗降低 12%，节能效果显著。

方案价值
泰治科技DAS系统在多家制造业客户稳定运行，取得客户的一致好评。系统结合大数据技术和人工智能算法，为企业提供智能化的数据分析服务，用科学的理论和方法替代直觉，打破数据孤岛，实现数据驱动管理，提升协同效率，助力企业降本增效。